Симонова Татьяна Владимировна
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Петрова Ирина Юрьевна, Пекелис Владимир Абович, Симонова Татьяна Владимировна, Кожемякин Владимир Алексеевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Елютин Александр Вячеславович, Кох Александр Аркадьевич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Джус Николай Ильич, Иванов Леонард Степанович, Ровенский Даниил Яковлевич, Левин Владимир Григорьевич, Митин Владимир Васильевич, Назаров Юрий Николаевич, Пархоменко Юрий Николаевич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: кремния, получения, способ, поликристаллического
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...