Пархоменко Юрий Николаевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Симонова Татьяна Владимировна, Левин Владимир Григорьевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Ровенский Даниил Яковлевич, Кох Александр Аркадьевич, Петрова Ирина Юрьевна, Назаров Юрий Николаевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Елютин Александр Вячеславович, Иванов Леонард Степанович, Джус Николай Ильич, Митин Владимир Васильевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Пекелис Владимир Абович
МПК: C01B 33/03, C01B 33/027
Метки: кремния, способ, получения, поликристаллического
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...