C01B 33/027 — разложением или восстановлением газообразных или испаряемых соединений кремния, кроме диоксида кремния или материала, содержащего диоксид кремния

Номер патента: 11971

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Пархоменко Юрий Николаевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Джус Николай Ильич, Петрова Ирина Юрьевна, Назаров Юрий Николаевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Иванов Леонард Степанович, Симонова Татьяна Владимировна, Ровенский Даниил Яковлевич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Кох Александр Аркадьевич, Пекелис Владимир Абович, Елютин Александр Вячеславович, Митин Владимир Васильевич, Левин Владимир Григорьевич

МПК: C01B 33/03, C01B 33/027

Метки: поликристаллического, получения, способ, кремния

Формула / Реферат:

1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...