Митин Владимир Васильевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Пархоменко Юрий Николаевич, Назаров Юрий Николаевич, Джус Николай Ильич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Левин Владимир Григорьевич, Пекелис Владимир Абович, Петрова Ирина Юрьевна, Аркадьев Андрей Анатольевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Елютин Александр Вячеславович, Ровенский Даниил Яковлевич, Митин Владимир Васильевич, Симонова Татьяна Владимировна, Кох Александр Аркадьевич, Иванов Леонард Степанович
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: способ, поликристаллического, получения, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...