Ровенский Даниил Яковлевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Митин Владимир Васильевич, Назаров Юрий Николаевич, Петрова Ирина Юрьевна, Левин Владимир Григорьевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Иванов Леонард Степанович, Пекелис Владимир Абович, Аркадьев Андрей Анатольевич, Джус Николай Ильич, Пархоменко Юрий Николаевич, Ровенский Даниил Яковлевич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Елютин Александр Вячеславович, Симонова Татьяна Владимировна, Кох Александр Аркадьевич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: получения, кремния, поликристаллического, способ
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...