Пекелис Владимир Абович
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Чапыгин Анатолий Михайлович, Иванов Леонард Степанович, Аркадьев Андрей Анатольевич, Левин Владимир Григорьевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Симонова Татьяна Владимировна, Ровенский Даниил Яковлевич, Петрова Ирина Юрьевна, Пекелис Владимир Абович, Джус Николай Ильич, Назаров Юрий Николаевич, Митин Владимир Васильевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Кох Александр Аркадьевич, Елютин Александр Вячеславович
МПК: C01B 33/03, C01B 33/027
Метки: поликристаллического, получения, способ, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...