Петрова Ирина Юрьевна

Способ получения поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 11971

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Кожемякин Владимир Алексеевич, Кох Александр Аркадьевич, Джус Николай Ильич, Ровенский Даниил Яковлевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Назаров Юрий Николаевич, Петрова Ирина Юрьевна, Елютин Александр Вячеславович, Аркадьев Андрей Анатольевич, Левин Владимир Григорьевич, Симонова Татьяна Владимировна, Митин Владимир Васильевич, Иванов Леонард Степанович, Пекелис Владимир Абович, Чапыгин Анатолий Михайлович

МПК: C01B 33/027, C01B 33/03

Метки: кремния, поликристаллического, получения, способ

Формула / Реферат:

1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...