Назаров Юрий Николаевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Ровенский Даниил Яковлевич, Митин Владимир Васильевич, Джус Николай Ильич, Левин Владимир Григорьевич, Иванов Леонард Степанович, Пекелис Владимир Абович, Петрова Ирина Юрьевна, Назаров Юрий Николаевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Кох Александр Аркадьевич, Елютин Александр Вячеславович, Симонова Татьяна Владимировна, Чапыгин Анатолий Михайлович, Кожемякин Владимир Алексеевич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: кремния, поликристаллического, получения, способ
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...