Кожемякин Владимир Алексеевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Пекелис Владимир Абович, Симонова Татьяна Владимировна, Кожемякин Владимир Алексеевич, Иванов Леонард Степанович, Чапыгин Анатолий Михайлович, Назаров Юрий Николаевич, Кох Александр Аркадьевич, Елютин Александр Вячеславович, Ровенский Даниил Яковлевич, Джус Николай Ильич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Митин Владимир Васильевич, Петрова Ирина Юрьевна, Левин Владимир Григорьевич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: кремния, поликристаллического, получения, способ
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...