Кох Александр Аркадьевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Джус Николай Ильич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Елютин Александр Вячеславович, Симонова Татьяна Владимировна, Кох Александр Аркадьевич, Назаров Юрий Николаевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Митин Владимир Васильевич, Левин Владимир Григорьевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Ровенский Даниил Яковлевич, Петрова Ирина Юрьевна, Кожемякин Владимир Алексеевич, Пекелис Владимир Абович, Иванов Леонард Степанович
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: поликристаллического, получения, способ, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...