Иванов Леонард Степанович
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Митин Владимир Васильевич, Ровенский Даниил Яковлевич, Симонова Татьяна Владимировна, Джус Николай Ильич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Елютин Александр Вячеславович, Назаров Юрий Николаевич, Кох Александр Аркадьевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Иванов Леонард Степанович, Левин Владимир Григорьевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Петрова Ирина Юрьевна, Пекелис Владимир Абович
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: получения, поликристаллического, способ, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...