Левин Владимир Григорьевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Петрова Ирина Юрьевна, Иванов Леонард Степанович, Кожемякин Владимир Алексеевич, Елютин Александр Вячеславович, Чапыгин Анатолий Михайлович, Назаров Юрий Николаевич, Симонова Татьяна Владимировна, Левин Владимир Григорьевич, Пекелис Владимир Абович, Митин Владимир Васильевич, Джус Николай Ильич, Кох Александр Аркадьевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Ровенский Даниил Яковлевич
МПК: C01B 33/03, C01B 33/027
Метки: получения, способ, поликристаллического, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...