Елютин Александр Вячеславович
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Чапыгин Анатолий Михайлович, Симонова Татьяна Владимировна, Кох Александр Аркадьевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Левин Владимир Григорьевич, Елютин Александр Вячеславович, Ровенский Даниил Яковлевич, Петрова Ирина Юрьевна, Пекелис Владимир Абович, Митин Владимир Васильевич, Джус Николай Ильич, Иванов Леонард Степанович, Назаров Юрий Николаевич, Пархоменко Юрий Николаевич
МПК: C01B 33/03, C01B 33/027
Метки: кремния, способ, получения, поликристаллического
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...