Чапыгин Анатолий Михайлович
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Иванов Леонард Степанович, Кох Александр Аркадьевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Аркадьев Андрей Анатольевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Пекелис Владимир Абович, Ровенский Даниил Яковлевич, Елютин Александр Вячеславович, Петрова Ирина Юрьевна, Назаров Юрий Николаевич, Симонова Татьяна Владимировна, Митин Владимир Васильевич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Левин Владимир Григорьевич, Джус Николай Ильич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: способ, поликристаллического, кремния, получения
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...