Джус Николай Ильич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Аркадьев Андрей Анатольевич, Кох Александр Аркадьевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Назаров Юрий Николаевич, Елютин Александр Вячеславович, Симонова Татьяна Владимировна, Кожемякин Владимир Алексеевич, Ровенский Даниил Яковлевич, Иванов Леонард Степанович, Джус Николай Ильич, Чапыгин Анатолий Михайлович, Левин Владимир Григорьевич, Пекелис Владимир Абович, Петрова Ирина Юрьевна, Митин Владимир Васильевич
МПК: C01B 33/027, C01B 33/03
Метки: поликристаллического, способ, получения, кремния
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...