Аркадьев Андрей Анатольевич
Способ получения поликристаллического кремния
Номер патента: 11971
Опубликовано: 30.06.2009
Авторы: Левин Владимир Григорьевич, Назаров Юрий Николаевич, Симонова Татьяна Владимировна, Ровенский Даниил Яковлевич, Кожемякин Владимир Алексеевич, Джус Николай Ильич, Иванов Леонард Степанович, Елютин Александр Вячеславович, Кох Александр Аркадьевич, Пархоменко Юрий Николаевич, Пекелис Владимир Абович, Чапыгин Анатолий Михайлович, Аркадьев Андрей Анатольевич, Петрова Ирина Юрьевна, Митин Владимир Васильевич
МПК: C01B 33/03, C01B 33/027
Метки: кремния, получения, поликристаллического, способ
Формула / Реферат:
1. Способ производства поликристаллического кремния, включающий получение трихлорсилана гидрохлорированием в реакторе кипящего слоя измельченного технического кремния с использованием хлористого водорода, полученного взаимодействием газообразных водорода, оборотного водорода и хлора, с образованием первой отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород; "сухую" пылеочистку первой отходящей...