Шаман Юрий Петрович

Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки

Загрузка...

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Шаманаев Артемий Андреевич, Басаев Александр Сергеевич, Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Галперин Вячеслав Александрович, Павлов Александр Александрович, Кондратьев Павел Константинович

МПК: G01L 9/00, B82Y 40/00, B82B 3/00...

Метки: содержащего, датчика, давления, изготовления, способ, углеродные, нанотрубки

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Датчик давления

Загрузка...

Номер патента: 20049

Опубликовано: 29.08.2014

Авторы: Шаманаев Артемий Андреевич, Галперин Вячеслав Александрович, Благов Евгений Владимирович, Павлов Александр Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Шаман Юрий Петрович

МПК: G01L 9/00, B82B 1/00

Метки: датчик, давления

Формула / Реферат:

1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович, Галперин Вячеслав Александрович, Шаманаев Сергей Владимирович, Басаев Александр Сергеевич

МПК: B82Y 40/00, C01B 31/02

Метки: массивов, углеродных, формирования, способ, нанотрубок

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Лабунов Владимир Архипович, Благов Евгений Владимирович, Шаман Юрий Петрович, Галперин Вячеслав Александрович, Басаев Александр Сергеевич

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: углеродных, массивов, формирования, способ, нанотрубок

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...

Способ формирования углеродных наноструктур и углеродные наноструктуры, полученные этим способом

Загрузка...

Номер патента: 16164

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Резнёв Алексей Алексеевич, Прудникова Елена Леонидовна, Лабунов Владимир Архипович, Шаман Юрий Петрович, Галперин Вячеслав Александрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович, Басаев Александр Сергеевич

МПК: B82B 3/00, B82Y 30/00, B82B 1/00...

Метки: наноструктуры, углеродных, способом, способ, этим, полученные, наноструктур, формирования, углеродные

Формула / Реферат:

1. Способ формирования углеродных наноструктур, включающий введение подложки в реактор; подачу углеводорода в нагретый объем; введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения осуществляют по меньшей мере одним циклом, состоящим в изменении концентрации металлорганического...

Устройство для синтеза углеродных наноструктур

Загрузка...

Номер патента: 15412

Опубликовано: 31.08.2011

Авторы: Лабунов Владимир Архипович, Прудникова Елена Леонидовна, Сауров Александр Николаевич, Басаев Александр Сергеевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Ильков Владимир Константинович, Шаман Юрий Петрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Резнёв Алексей Алексеевич

МПК: D01F 9/133, B82B 3/00

Метки: устройство, углеродных, наноструктур, синтеза

Формула / Реферат:

1. Устройство для синтеза углеродных наноструктур, содержащее реактор, по меньшей мере один нагреватель реактора, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов, которая снабжена системой регулирования расхода реактивов, испаритель, по меньшей мере один распылитель для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель, по меньшей мере одну емкость для газа-носителя, отличающееся тем, что дополнительно содержит держатель образцов,...

Способ инициирования локального взрыва углеродных нанотрубок, способ изготовления устройства для инициирования локального взрыва и устройство для инициирования локального взрыва

Загрузка...

Номер патента: 13197

Опубликовано: 26.02.2010

Авторы: Сауров Александр Николаевич, Резнёв Алексей Алексеевич, Шулицкий Борис Георгиевич, Шаман Юрий Петрович, Лабунов Владимир Архипович, Басаев Александр Сергеевич, Прудникова Елена Леонидовна

МПК: C01B 31/02, B82B 3/00

Метки: способ, устройство, взрыва, устройства, углеродных, изготовления, локального, инициирования, нанотрубок

Формула / Реферат:

1. Способ инициирования локального взрыва углеродных нанотрубок, заключающийся в воздействии на них электрическим током в присутствии окислителя.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что окислитель содержится в структуре углеродных нанотрубок.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что окислитель содержится в среде, окружающей углеродные нанотрубки.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что воздействие осуществляют переменным электрическим током.5....