B82Y 40/00 — Изготовление или обработка нано-структур

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Павлов Александр Александрович, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Артемий Андреевич, Басаев Александр Сергеевич, Кондратьев Павел Константинович

МПК: B82Y 40/00, B82B 3/00, G01L 9/00...

Метки: содержащего, углеродные, датчика, нанотрубки, давления, изготовления, способ

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Шаманаев Сергей Владимирович, Павлов Александр Александрович, Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: массивов, способ, нанотрубок, формирования, углеродных

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Лабунов Владимир Архипович, Павлов Александр Александрович, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Басаев Александр Сергеевич, Благов Евгений Владимирович, Шулицкий Борис Георгиевич

МПК: B82Y 40/00, C01B 31/02

Метки: массивов, нанотрубок, способ, углеродных, формирования

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...