Галперин Вячеслав Александрович

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Павлов Александр Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаман Юрий Петрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Кондратьев Павел Константинович, Галперин Вячеслав Александрович, Басаев Александр Сергеевич

МПК: B82Y 40/00, B82B 3/00, G01L 9/00...

Метки: изготовления, углеродные, нанотрубки, содержащего, способ, датчика, давления

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Номер патента: 20049

Опубликовано: 29.08.2014

Авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Артемий Андреевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Благов Евгений Владимирович, Павлов Александр Александрович

МПК: G01L 9/00, B82B 1/00

Метки: давления, датчик

Формула / Реферат:

1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Павлов Александр Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: нанотрубок, формирования, массивов, углеродных, способ

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Басаев Александр Сергеевич, Павлов Александр Александрович, Сауров Александр Николаевич, Благов Евгений Владимирович, Шаманаев Сергей Владимирович, Лабунов Владимир Архипович

МПК: B82Y 40/00, C01B 31/02

Метки: способ, массивов, углеродных, нанотрубок, формирования

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...

Номер патента: 16164

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Резнёв Алексей Алексеевич, Шаман Юрий Петрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Галперин Вячеслав Александрович, Лабунов Владимир Архипович, Прудникова Елена Леонидовна, Басаев Александр Сергеевич, Павлов Александр Александрович, Сауров Александр Николаевич

МПК: B82B 3/00, B82B 1/00, B82Y 30/00...

Метки: наноструктур, способ, углеродные, способом, углеродных, полученные, формирования, наноструктуры, этим

Формула / Реферат:

1. Способ формирования углеродных наноструктур, включающий введение подложки в реактор; подачу углеводорода в нагретый объем; введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения осуществляют по меньшей мере одним циклом, состоящим в изменении концентрации металлорганического...