Кондратьев Павел Константинович
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
Номер патента: 21268
Опубликовано: 29.05.2015
Авторы: Басаев Александр Сергеевич, Павлов Александр Александрович, Кондратьев Павел Константинович, Сауров Александр Николаевич, Галперин Вячеслав Александрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Шаман Юрий Петрович
МПК: G01L 9/00, B82B 3/00, B82Y 40/00...
Метки: нанотрубки, содержащего, изготовления, датчика, давления, способ, углеродные
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...