Шаманаев Артемий Андреевич
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
Номер патента: 21268
Опубликовано: 29.05.2015
Авторы: Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаман Юрий Петрович, Кондратьев Павел Константинович, Шаманаев Артемий Андреевич, Павлов Александр Александрович
МПК: B82Y 40/00, G01L 9/00, B82B 3/00...
Метки: датчика, изготовления, давления, углеродные, нанотрубки, содержащего, способ
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...
Датчик давления
Номер патента: 20049
Опубликовано: 29.08.2014
Авторы: Шаманаев Сергей Владимирович, Шаман Юрий Петрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович, Благов Евгений Владимирович
Формула / Реферат:
1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...