Павлов Александр Александрович

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Шаманаев Артемий Андреевич, Кондратьев Павел Константинович, Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович, Шаман Юрий Петрович

МПК: B82Y 40/00, G01L 9/00, B82B 3/00...

Метки: углеродные, изготовления, способ, датчика, давления, содержащего, нанотрубки

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Номер патента: 20049

Опубликовано: 29.08.2014

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Благов Евгений Владимирович, Павлов Александр Александрович, Сауров Александр Николаевич, Галперин Вячеслав Александрович

МПК: B82B 1/00, G01L 9/00

Метки: датчик, давления

Формула / Реферат:

1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Басаев Александр Сергеевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Павлов Александр Александрович

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: углеродных, способ, нанотрубок, массивов, формирования

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Шаманаев Сергей Владимирович, Сауров Александр Николаевич, Лабунов Владимир Архипович, Шаман Юрий Петрович, Басаев Александр Сергеевич, Павлов Александр Александрович, Благов Евгений Владимирович, Шулицкий Борис Георгиевич, Галперин Вячеслав Александрович

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: нанотрубок, формирования, углеродных, массивов, способ

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...

Номер патента: 16164

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Резнёв Алексей Алексеевич, Лабунов Владимир Архипович, Павлов Александр Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Прудникова Елена Леонидовна, Сауров Александр Николаевич

МПК: B82Y 30/00, B82B 3/00, B82B 1/00...

Метки: наноструктуры, способ, полученные, формирования, углеродных, способом, этим, наноструктур, углеродные

Формула / Реферат:

1. Способ формирования углеродных наноструктур, включающий введение подложки в реактор; подачу углеводорода в нагретый объем; введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения осуществляют по меньшей мере одним циклом, состоящим в изменении концентрации металлорганического...