Благов Евгений Владимирович
Датчик давления
Номер патента: 20049
Опубликовано: 29.08.2014
Авторы: Шаман Юрий Петрович, Павлов Александр Александрович, Благов Евгений Владимирович, Шаманаев Артемий Андреевич, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Галперин Вячеслав Александрович
Формула / Реферат:
1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...
Способ формирования массивов углеродных нанотрубок
Номер патента: 16557
Опубликовано: 30.05.2012
Авторы: Лабунов Владимир Архипович, Шаман Юрий Петрович, Басаев Александр Сергеевич, Сауров Александр Николаевич, Благов Евгений Владимирович, Галперин Вячеслав Александрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Шаманаев Сергей Владимирович, Павлов Александр Александрович
МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00
Метки: формирования, углеродных, нанотрубок, массивов, способ
Формула / Реферат:
1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...