Маула Ярмо

Номер патента: 24073

Опубликовано: 31.08.2016

Автор: Маула Ярмо

МПК: C23C 16/455, C23C 16/44, B01J 2/00...

Метки: нанесения, способ, покрытий, устройство

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия на один или более объектов (1), включающий введение по меньшей мере двух предшественников в реакционную камеру (2, 40) и проведение попеременно повторяющихся поверхностных реакций объекта (1) с двумя или более газообразными предшественниками внутри реакционной камеры (2, 40), отличающийся тем, что подача предшественника осуществляется таким образом, что имеет местоформирование по меньшей мере одной отдельной области...

Номер патента: 22723

Опубликовано: 29.02.2016

Авторы: Йюльхя Олли, Исомяки Нора, Путконен Матти, Сёдерлунд Микко, Снек Сами, Маула Ярмо, Тёрнквист Рунар

МПК: C23C 16/455, C23C 16/40

Метки: способ, покрытие, многослойного, многослойное, покрытия, изготовления

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3), включающий введение подложки (3) в реакционное пространство, нанесение слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесение слоя второго материала (2) на слой первого материала (1), отличающийся тем, что нанесение слоя первого материала (1) включает стадиивведения первого предшественника в реакционное пространство так, чтобы по меньшей мере часть первого предшественника...

Номер патента: 21602

Опубликовано: 30.07.2015

Автор: Маула Ярмо

МПК: C23C 16/40, C23C 16/08, C23C 16/18...

Метки: получения, оксидная, пленки, оксидной, электропроводная, пленка, способ, применение, электропроводной

Формула / Реферат:

1. Способ получения электропроводной оксидной пленки (1) на подложке (2), включающий стадии введения подложки (2) в реакционное пространство, образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) и обработки поверхности осаждения химическим реагентом, отличающийся тем, что стадия образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) включает образование предварительного осажденного слоя...

Номер патента: 16692

Опубликовано: 30.06.2012

Авторы: Маула Ярмо, Хяркенен Кари

МПК: H01L 21/314, C23C 16/40, C23C 16/455...

Метки: способ, материалов, металлов, оксидов, осаждения

Формула / Реферат:

1. Способ снижения или исключения неоднородности слоя для метода послойного атомного осаждения или метода типа послойного атомного осаждения, включающий следующие фазы:a) воздействие на поверхность первым предшественником или смесью предшественников, включающих в себя по меньшей мере один галогенид металла,b) воздействие на полученную поверхность вторым предшественником, выбранным из группы, состоящей из воды, перекиси водорода, трет-бутанола и...