Маула Ярмо
Способ и устройство для нанесения покрытий
Номер патента: 24073
Опубликовано: 31.08.2016
Автор: Маула Ярмо
МПК: B01J 2/00, C23C 16/44, C23C 16/455...
Метки: способ, нанесения, устройство, покрытий
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия на один или более объектов (1), включающий введение по меньшей мере двух предшественников в реакционную камеру (2, 40) и проведение попеременно повторяющихся поверхностных реакций объекта (1) с двумя или более газообразными предшественниками внутри реакционной камеры (2, 40), отличающийся тем, что подача предшественника осуществляется таким образом, что имеет местоформирование по меньшей мере одной отдельной области...
Многослойное покрытие, способ изготовления многослойного покрытия
Номер патента: 22723
Опубликовано: 29.02.2016
Авторы: Маула Ярмо, Сёдерлунд Микко, Путконен Матти, Тёрнквист Рунар, Снек Сами, Йюльхя Олли, Исомяки Нора
МПК: C23C 16/40, C23C 16/455
Метки: покрытие, покрытия, изготовления, способ, многослойное, многослойного
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3), включающий введение подложки (3) в реакционное пространство, нанесение слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесение слоя второго материала (2) на слой первого материала (1), отличающийся тем, что нанесение слоя первого материала (1) включает стадиивведения первого предшественника в реакционное пространство так, чтобы по меньшей мере часть первого предшественника...
Способ получения электропроводной оксидной пленки, электропроводная оксидная пленка и ее применение
Номер патента: 21602
Опубликовано: 30.07.2015
Автор: Маула Ярмо
МПК: C23C 16/18, C23C 16/40, C23C 16/08...
Метки: способ, пленка, оксидной, применение, получения, оксидная, электропроводной, электропроводная, пленки
Формула / Реферат:
1. Способ получения электропроводной оксидной пленки (1) на подложке (2), включающий стадии введения подложки (2) в реакционное пространство, образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) и обработки поверхности осаждения химическим реагентом, отличающийся тем, что стадия образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) включает образование предварительного осажденного слоя...
Способ осаждения материалов из оксидов металлов
Номер патента: 16692
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Хяркенен Кари, Маула Ярмо
МПК: C23C 16/40, C23C 16/455, H01L 21/314...
Метки: оксидов, металлов, материалов, осаждения, способ
Формула / Реферат:
1. Способ снижения или исключения неоднородности слоя для метода послойного атомного осаждения или метода типа послойного атомного осаждения, включающий следующие фазы:a) воздействие на поверхность первым предшественником или смесью предшественников, включающих в себя по меньшей мере один галогенид металла,b) воздействие на полученную поверхность вторым предшественником, выбранным из группы, состоящей из воды, перекиси водорода, трет-бутанола и...