Исомяки Нора
Многослойное покрытие, способ изготовления многослойного покрытия
Номер патента: 22723
Опубликовано: 29.02.2016
Авторы: Сёдерлунд Микко, Тёрнквист Рунар, Путконен Матти, Снек Сами, Йюльхя Олли, Исомяки Нора, Маула Ярмо
МПК: C23C 16/40, C23C 16/455
Метки: способ, многослойного, покрытия, многослойное, покрытие, изготовления
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3), включающий введение подложки (3) в реакционное пространство, нанесение слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесение слоя второго материала (2) на слой первого материала (1), отличающийся тем, что нанесение слоя первого материала (1) включает стадиивведения первого предшественника в реакционное пространство так, чтобы по меньшей мере часть первого предшественника...