C23C 16/08 — из галогенидов металлов
Способ получения электропроводной оксидной пленки, электропроводная оксидная пленка и ее применение
Номер патента: 21602
Опубликовано: 30.07.2015
Автор: Маула Ярмо
МПК: C23C 16/40, C23C 16/18, C23C 16/08...
Метки: электропроводной, оксидной, применение, электропроводная, способ, получения, пленки, пленка, оксидная
Формула / Реферат:
1. Способ получения электропроводной оксидной пленки (1) на подложке (2), включающий стадии введения подложки (2) в реакционное пространство, образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) и обработки поверхности осаждения химическим реагентом, отличающийся тем, что стадия образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) включает образование предварительного осажденного слоя...