Сёдерлунд Микко
Многослойное покрытие, способ изготовления многослойного покрытия
Номер патента: 22723
Опубликовано: 29.02.2016
Авторы: Маула Ярмо, Тёрнквист Рунар, Исомяки Нора, Сёдерлунд Микко, Йюльхя Олли, Снек Сами, Путконен Матти
МПК: C23C 16/40, C23C 16/455
Метки: многослойного, многослойное, изготовления, способ, покрытие, покрытия
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3), включающий введение подложки (3) в реакционное пространство, нанесение слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесение слоя второго материала (2) на слой первого материала (1), отличающийся тем, что нанесение слоя первого материала (1) включает стадиивведения первого предшественника в реакционное пространство так, чтобы по меньшей мере часть первого предшественника...