C23C 16/44 — характеризуемые способом покрытия

Номер патента: 24073

Опубликовано: 31.08.2016

Автор: Маула Ярмо

МПК: C23C 16/44, C23C 16/455, B01J 2/00...

Метки: способ, покрытий, устройство, нанесения

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия на один или более объектов (1), включающий введение по меньшей мере двух предшественников в реакционную камеру (2, 40) и проведение попеременно повторяющихся поверхностных реакций объекта (1) с двумя или более газообразными предшественниками внутри реакционной камеры (2, 40), отличающийся тем, что подача предшественника осуществляется таким образом, что имеет местоформирование по меньшей мере одной отдельной области...

Номер патента: 21602

Опубликовано: 30.07.2015

Автор: Маула Ярмо

МПК: C23C 16/40, C23C 16/08, C23C 16/18...

Метки: применение, способ, оксидная, электропроводной, оксидной, пленки, электропроводная, пленка, получения

Формула / Реферат:

1. Способ получения электропроводной оксидной пленки (1) на подложке (2), включающий стадии введения подложки (2) в реакционное пространство, образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) и обработки поверхности осаждения химическим реагентом, отличающийся тем, что стадия образования предварительного осажденного слоя на поверхности осаждения подложки (2) включает образование предварительного осажденного слоя...

Номер патента: 15085

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Ховинен Ансси, Асиккала Кай, Раяла Маркку

МПК: C03C 17/02, C03B 37/014, C03C 17/245...

Метки: теплоотражающего, покрытия, нанесения, устройство, стекло, способ

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения на стекло теплоотражающего покрытия на основе SnO2, ZnO или их комбинации с использованием метода химического осаждения из паровой фазы (CVD), в котором при осаждении покрытия по меньшей мере часть покрывающего материала подают в виде твердых частиц, состав которых, по существу, совпадает с составом покрытия, которое должно быть нанесено, и диаметр которых составляет менее 200 нм.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что состав...

Номер патента: 12961

Опубликовано: 26.02.2010

Авторы: Кето Лейф, Соининен Пекка

МПК: C23C 16/455, C23C 16/00, C23C 16/44...

Метки: осаждения, атомного, реактор, послойного

Формула / Реферат:

1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в...