Йюльхя Олли
Многослойное покрытие, способ изготовления многослойного покрытия
Номер патента: 22723
Опубликовано: 29.02.2016
Авторы: Тёрнквист Рунар, Йюльхя Олли, Путконен Матти, Сёдерлунд Микко, Исомяки Нора, Маула Ярмо, Снек Сами
МПК: C23C 16/455, C23C 16/40
Метки: покрытие, многослойного, многослойное, способ, изготовления, покрытия
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3), включающий введение подложки (3) в реакционное пространство, нанесение слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесение слоя второго материала (2) на слой первого материала (1), отличающийся тем, что нанесение слоя первого материала (1) включает стадиивведения первого предшественника в реакционное пространство так, чтобы по меньшей мере часть первого предшественника...