Левчук Николай Евгеньевич

Номер патента: 9514

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Левчук Николай Евгеньевич, Хисамов Айрат Хамитович, Марышев Сергей Павлович, Хохлов Александр Евгеньевич, Савенко Владимир Анатольевич

МПК: C23C 14/48, C23C 14/35, H01J 37/317...

Метки: способа, ионной, способ, поверхности, осуществления, обработки, диэлектрика, устройство

Формула / Реферат:

1. Способ ионной обработки поверхности диэлектрика, включающий формирование направленного потока ионов и направленного потока электронов, воздействие ими на обрабатываемую поверхность диэлектрика, при этом поток электронов служит для нейтрализации положительного заряда, возникающего на поверхности диэлектрика, отличающийся тем, что поток электронов формируют с помощью плазменного катодного разряда и туннелеобразного магнитного поля, при этом...

Номер патента: 9303

Опубликовано: 28.12.2007

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Александр Евгеньевич, Хисамов Айрат Хамитович, Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич

МПК: C23C 14/46, H01L 21/203

Метки: нанесения, нитрида, пленок, вакууме, варианты, кремния, способ

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме на неподвижно установленную подложку, при котором в вакуумную камеру подают смесь рабочих газов: азота и аргона, формируют ионный пучок по крайней мере из одного источника ионов, мишень из кремния распыляют направленным ионным пучком, а распыленный материал осаждают на подложку послойно путем сканирования ее поверхности, при этом источник ионов вместе с мишенью перемещают...

Номер патента: 7701

Опубликовано: 29.12.2006

Авторы: Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич

МПК: C23C 14/56, H01J 37/317

Метки: вакуумный, подложку, нанесения, покрытий, варианты, кластер

Формула / Реферат:

1. Вакуумный кластер для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, подложкодержатель, предназначенный для установки подложки, технологическое устройство для нанесения покрытий на подложку и механизм перемещения технологического устройства, установленный с возможностью возвратно-поступательного движения параллельно поверхности подложкодержателя и/или подложки, отличающийся тем, что вакуумная камера снабжена основным и по...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 27.02.2003

Авторы: Хохлов Александр Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Левчук Николай Евгеньевич, Марышев Сергей Павлович

МПК: C23C 14/54

Метки: модулей, покрытий, вакуумный, модуль, нанесения, система, варианты, его, подложку

Формула / Реферат:

1. Вакуумный модуль для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, снабженную отверстием, предназначенным для установки подложки, уплотнительным элементом и технологическим устройством, предназначенным для нанесения покрытий, вакуумный затвор, установленный в плоскости, параллельной плоскости отверстия вакуумной камеры и предназначенный для отделения части объема камеры с технологическим устройством от отверстия, и механизм...