Хохлов Александр Евгеньевич
Способ ионной обработки поверхности диэлектрика и устройство для осуществления способа
Номер патента: 9514
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Хисамов Айрат Хамитович, Савенко Владимир Анатольевич, Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Александр Евгеньевич
МПК: H01J 37/317, C23C 14/48, C23C 14/35...
Метки: обработки, ионной, способ, осуществления, поверхности, диэлектрика, способа, устройство
Формула / Реферат:
1. Способ ионной обработки поверхности диэлектрика, включающий формирование направленного потока ионов и направленного потока электронов, воздействие ими на обрабатываемую поверхность диэлектрика, при этом поток электронов служит для нейтрализации положительного заряда, возникающего на поверхности диэлектрика, отличающийся тем, что поток электронов формируют с помощью плазменного катодного разряда и туннелеобразного магнитного поля, при этом...
Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме (варианты)
Номер патента: 9303
Опубликовано: 28.12.2007
Авторы: Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович, Хохлов Александр Евгеньевич
МПК: H01L 21/203, C23C 14/46
Метки: вакууме, кремния, нанесения, варианты, нитрида, способ, пленок
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме на неподвижно установленную подложку, при котором в вакуумную камеру подают смесь рабочих газов: азота и аргона, формируют ионный пучок по крайней мере из одного источника ионов, мишень из кремния распыляют направленным ионным пучком, а распыленный материал осаждают на подложку послойно путем сканирования ее поверхности, при этом источник ионов вместе с мишенью перемещают...
Вакуумный модуль (его варианты) и система модулей для нанесения покрытий на подложку
Номер патента: 3148
Опубликовано: 27.02.2003
Авторы: Марышев Сергей Павлович, Хохлов Александр Евгеньевич, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич
МПК: C23C 14/54
Метки: его, покрытий, система, модуль, подложку, модулей, варианты, вакуумный, нанесения
Формула / Реферат:
1. Вакуумный модуль для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, снабженную отверстием, предназначенным для установки подложки, уплотнительным элементом и технологическим устройством, предназначенным для нанесения покрытий, вакуумный затвор, установленный в плоскости, параллельной плоскости отверстия вакуумной камеры и предназначенный для отделения части объема камеры с технологическим устройством от отверстия, и механизм...