C23C 14/46 — с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника

Номер патента: 9303

Опубликовано: 28.12.2007

Авторы: Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич, Хохлов Александр Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Хисамов Айрат Хамитович

МПК: C23C 14/46, H01L 21/203

Метки: нитрида, способ, кремния, варианты, нанесения, вакууме, пленок

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме на неподвижно установленную подложку, при котором в вакуумную камеру подают смесь рабочих газов: азота и аргона, формируют ионный пучок по крайней мере из одного источника ионов, мишень из кремния распыляют направленным ионным пучком, а распыленный материал осаждают на подложку послойно путем сканирования ее поверхности, при этом источник ионов вместе с мишенью перемещают...

Номер патента: 8187

Опубликовано: 27.04.2007

Авторы: Марышев Сергей Павлович, Ширипов Владимир Яковлевич, Хисамов Айрат Хамитович

МПК: H01L 21/3065, C23C 14/50, C23C 14/46...

Метки: способ, дисплеев, реализации, устройство, теневых, масок, варианты, очистки, производстве

Формула / Реферат:

1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...