Патенты с меткой «нитрида»
Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме (варианты)
Номер патента: 9303
Опубликовано: 28.12.2007
Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович, Хохлов Александр Евгеньевич, Левчук Николай Евгеньевич
МПК: H01L 21/203, C23C 14/46
Метки: нитрида, нанесения, кремния, пленок, варианты, способ, вакууме
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме на неподвижно установленную подложку, при котором в вакуумную камеру подают смесь рабочих газов: азота и аргона, формируют ионный пучок по крайней мере из одного источника ионов, мишень из кремния распыляют направленным ионным пучком, а распыленный материал осаждают на подложку послойно путем сканирования ее поверхности, при этом источник ионов вместе с мишенью перемещают...