Патенты с меткой «кластер»
Вакуумный кластер для нанесения покрытий на подложку (варианты)
Номер патента: 7701
Опубликовано: 29.12.2006
Авторы: Хисамов Айрат Хамитович, Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич
МПК: C23C 14/56, H01J 37/317
Метки: подложку, нанесения, покрытий, вакуумный, варианты, кластер
Формула / Реферат:
1. Вакуумный кластер для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, подложкодержатель, предназначенный для установки подложки, технологическое устройство для нанесения покрытий на подложку и механизм перемещения технологического устройства, установленный с возможностью возвратно-поступательного движения параллельно поверхности подложкодержателя и/или подложки, отличающийся тем, что вакуумная камера снабжена основным и по...