H01J 37/317 — для изменения свойств объектов или для нанесения тонких слоев на них, например ионное внедрение
Способ ионной обработки поверхности диэлектрика и устройство для осуществления способа
Номер патента: 9514
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Левчук Николай Евгеньевич, Савенко Владимир Анатольевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович, Хохлов Александр Евгеньевич
МПК: C23C 14/48, H01J 37/317, C23C 14/35...
Метки: обработки, устройство, диэлектрика, поверхности, осуществления, способ, способа, ионной
Формула / Реферат:
1. Способ ионной обработки поверхности диэлектрика, включающий формирование направленного потока ионов и направленного потока электронов, воздействие ими на обрабатываемую поверхность диэлектрика, при этом поток электронов служит для нейтрализации положительного заряда, возникающего на поверхности диэлектрика, отличающийся тем, что поток электронов формируют с помощью плазменного катодного разряда и туннелеобразного магнитного поля, при этом...
Вакуумный кластер для нанесения покрытий на подложку (варианты)
Номер патента: 7701
Опубликовано: 29.12.2006
Авторы: Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Хисамов Айрат Хамитович
МПК: C23C 14/56, H01J 37/317
Метки: нанесения, подложку, покрытий, вакуумный, варианты, кластер
Формула / Реферат:
1. Вакуумный кластер для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, подложкодержатель, предназначенный для установки подложки, технологическое устройство для нанесения покрытий на подложку и механизм перемещения технологического устройства, установленный с возможностью возвратно-поступательного движения параллельно поверхности подложкодержателя и/или подложки, отличающийся тем, что вакуумная камера снабжена основным и по...