Савенко Владимир Анатольевич
Способ ионной обработки поверхности диэлектрика и устройство для осуществления способа
Номер патента: 9514
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Хохлов Александр Евгеньевич, Савенко Владимир Анатольевич, Марышев Сергей Павлович, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Хисамов Айрат Хамитович
МПК: C23C 14/35, H01J 37/317, C23C 14/48...
Метки: осуществления, устройство, способ, ионной, обработки, поверхности, диэлектрика, способа
Формула / Реферат:
1. Способ ионной обработки поверхности диэлектрика, включающий формирование направленного потока ионов и направленного потока электронов, воздействие ими на обрабатываемую поверхность диэлектрика, при этом поток электронов служит для нейтрализации положительного заряда, возникающего на поверхности диэлектрика, отличающийся тем, что поток электронов формируют с помощью плазменного катодного разряда и туннелеобразного магнитного поля, при этом...