C23C 14/54 — управление или регулирование способа нанесения покрытия

Номер патента: 23563

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Раяла Маркку, Тикканен Юха

МПК: B05D 1/02, C03C 17/00, B05D 1/10...

Метки: покрытия, устройство, осаждения, методоm, контроля, способ, процесса

Формула / Реферат:

1. Способ контроля процесса покрытия методом осаждения из паровой фазы, при котором осуществляют мониторинг концентрации ультратонких частиц, включающий зарядку частиц и измерение электрического тока, возникающего вследствие движения заряженных частиц, и на основе этого мониторинга регулируют в режиме реального времени по меньшей мере один из параметров процесса, влияющих на образование частиц.2. Способ по п.1, в котором измерение электрического...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 27.02.2003

Авторы: Хохлов Александр Евгеньевич, Левчук Николай Евгеньевич, Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович

МПК: C23C 14/54

Метки: нанесения, вакуумный, подложку, модулей, покрытий, варианты, модуль, система, его

Формула / Реферат:

1. Вакуумный модуль для нанесения покрытий на подложку, включающий вакуумную камеру, снабженную отверстием, предназначенным для установки подложки, уплотнительным элементом и технологическим устройством, предназначенным для нанесения покрытий, вакуумный затвор, установленный в плоскости, параллельной плоскости отверстия вакуумной камеры и предназначенный для отделения части объема камеры с технологическим устройством от отверстия, и механизм...