Кето Лейф
Реактор для послойного атомного осаждения
Номер патента: 12961
Опубликовано: 26.02.2010
Авторы: Соининен Пекка, Кето Лейф
МПК: C23C 16/00, C23C 16/44, C23C 16/455...
Метки: атомного, послойного, осаждения, реактор
Формула / Реферат:
1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в...