Патенты с меткой «послойного»

Номер патента: 18887

Опубликовано: 29.11.2013

Авторы: Яухиайнен Мика, Соининен Пекка

МПК: C30B 25/14, C23C 16/455

Метки: реактора, атомного, осаждения, послойного, устройство

Формула / Реферат:

1. Устройство для реактора послойного атомного осаждения, включающего реакционную камеру, средний элемент, два реверсивных элемента, патрубки для подачи реакционного газа и его отвода и патрубки для подачи барьерного газа, при этом патрубки для подачи и отвода реакционного газа и подачи барьерного газа содержат средний элемент (3), имеющий множество параллельных каналов (4 и 6), проходящих через этот элемент, и первый и второй реверсивные...

Номер патента: 17909

Опубликовано: 30.04.2013

Автор: Сонг Ки-Йонг

МПК: E02D 5/54

Метки: опоры, каркаса, способа, использованием, данного, возведения, послойного, монтажа, большого, посредством, диаметра, способ

Формула / Реферат:

1. Способ возведения опоры большого диаметра для возведения сваи Р1 большого диаметра, столба Р2 большого диаметра или колонны Р3 большого диаметра, в котором осуществляют послойный монтаж множества единичных бетонных блоков 200, имеющих единичную длину, причем каждый из единичных блоков 200 содержит множество сквозных отверстий 210, проходящих через его верхнюю и нижнюю поверхности, так что посредством множества стальных тросов или стальных...

Номер патента: 15231

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Соининен Пекка, Снек Сами

МПК: C23C 16/00, C23C 16/458, C23C 16/455...

Метки: послойного, устройство, осаждения, атомного, реактора

Формула / Реферат:

1. Реактор послойного атомного осаждения, содержащий вакуумную камеру (2) и реакционную камеру (4), расположенную внутри вакуумной камеры (2), где реакционная камера (4) снабжена открываемой стенкой (24), загрузочное отверстие (12), образованное в боковой стенке/корпусе (22) или в торцевой стенке (6, 20) вакуумной камеры (2), загрузочное устройство, сообщающееся с загрузочным отверстием, установленное в первой или второй торцевой стенке (6, 20)...

Номер патента: 12961

Опубликовано: 26.02.2010

Авторы: Кето Лейф, Соининен Пекка

МПК: C23C 16/455, C23C 16/44, C23C 16/00...

Метки: послойного, осаждения, атомного, реактор

Формула / Реферат:

1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в...