Соининен Пекка

Номер патента: 22825

Опубликовано: 31.03.2016

Авторы: Соининен Пекка, Энхолм Робин

МПК: C23C 16/455

Метки: распылительная, головка

Формула / Реферат:

1. Распылительная головка (2) для обработки поверхности (4) подложки (6) последовательными поверхностными реакциями по меньшей мере одного первого прекурсора (А) и второго прекурсора (В), причем распылительная головка (2) имеет выходную сторону (5), содержащую один или более первых подающих каналов (40) для подачи на поверхность (4) подложки (6) первого прекурсора (А); один или более вторых подающих каналов (44) для подачи на поверхность (4)...

Номер патента: 18887

Опубликовано: 29.11.2013

Авторы: Яухиайнен Мика, Соининен Пекка

МПК: C23C 16/455, C30B 25/14

Метки: послойного, атомного, осаждения, устройство, реактора

Формула / Реферат:

1. Устройство для реактора послойного атомного осаждения, включающего реакционную камеру, средний элемент, два реверсивных элемента, патрубки для подачи реакционного газа и его отвода и патрубки для подачи барьерного газа, при этом патрубки для подачи и отвода реакционного газа и подачи барьерного газа содержат средний элемент (3), имеющий множество параллельных каналов (4 и 6), проходящих через этот элемент, и первый и второй реверсивные...

Номер патента: 15231

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Соининен Пекка, Снек Сами

МПК: C23C 16/455, C23C 16/458, C23C 16/00...

Метки: устройство, послойного, атомного, осаждения, реактора

Формула / Реферат:

1. Реактор послойного атомного осаждения, содержащий вакуумную камеру (2) и реакционную камеру (4), расположенную внутри вакуумной камеры (2), где реакционная камера (4) снабжена открываемой стенкой (24), загрузочное отверстие (12), образованное в боковой стенке/корпусе (22) или в торцевой стенке (6, 20) вакуумной камеры (2), загрузочное устройство, сообщающееся с загрузочным отверстием, установленное в первой или второй торцевой стенке (6, 20)...

Номер патента: 12990

Опубликовано: 26.02.2010

Авторы: Снек Сами, Мякеля Милья, Соининен Пекка

МПК: C03C 17/36, C23C 16/455, A44C 27/00...

Метки: защитное, серебра, покрытие

Формула / Реферат:

1. Способ защиты от потускнения продуктов, изделий или деталей из серебра, отличающийся тем, что наносят тонкое покрытие защитного материала, имеющее толщину между 1 и 100 нм по меньшей мере на часть поверхности продукта, изделия или детали из серебра с использованием метода послойного атомного осаждения.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что наносят тонкое покрытие, имеющее толщину между 2 и 20 нм.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что...

Номер патента: 12961

Опубликовано: 26.02.2010

Авторы: Соининен Пекка, Кето Лейф

МПК: C23C 16/00, C23C 16/455, C23C 16/44...

Метки: атомного, реактор, послойного, осаждения

Формула / Реферат:

1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в...