Патенты с меткой «атомного»
Устройство для реактора послойного атомного осаждения
Номер патента: 18887
Опубликовано: 29.11.2013
Авторы: Яухиайнен Мика, Соининен Пекка
МПК: C23C 16/455, C30B 25/14
Метки: послойного, осаждения, атомного, устройство, реактора
Формула / Реферат:
1. Устройство для реактора послойного атомного осаждения, включающего реакционную камеру, средний элемент, два реверсивных элемента, патрубки для подачи реакционного газа и его отвода и патрубки для подачи барьерного газа, при этом патрубки для подачи и отвода реакционного газа и подачи барьерного газа содержат средний элемент (3), имеющий множество параллельных каналов (4 и 6), проходящих через этот элемент, и первый и второй реверсивные...
Устройство для реактора послойного атомного осаждения
Номер патента: 15231
Опубликовано: 30.06.2011
Авторы: Соининен Пекка, Снек Сами
МПК: C23C 16/455, C23C 16/00, C23C 16/458...
Метки: реактора, атомного, устройство, осаждения, послойного
Формула / Реферат:
1. Реактор послойного атомного осаждения, содержащий вакуумную камеру (2) и реакционную камеру (4), расположенную внутри вакуумной камеры (2), где реакционная камера (4) снабжена открываемой стенкой (24), загрузочное отверстие (12), образованное в боковой стенке/корпусе (22) или в торцевой стенке (6, 20) вакуумной камеры (2), загрузочное устройство, сообщающееся с загрузочным отверстием, установленное в первой или второй торцевой стенке (6, 20)...
Реактор для послойного атомного осаждения
Номер патента: 12961
Опубликовано: 26.02.2010
Авторы: Кето Лейф, Соининен Пекка
МПК: C23C 16/44, C23C 16/00, C23C 16/455...
Метки: осаждения, реактор, атомного, послойного
Формула / Реферат:
1. Реакционная камера реактора послойного атомного осаждения, содержащая нижнюю стенку, верхнюю стенку и боковые стенки, проходящие между верхней стенкой и нижней стенкой и определяющие контур реакционной камеры с образованием внутренней части (28) реакционной камеры, причем реактор содержит также одно или несколько впускных отверстий (30) для подачи газа в реакционную камеру и одно или несколько выпускных отверстий (40) для отвода поданного в...