Яухиайнен Мика
Устройство для реактора послойного атомного осаждения
Номер патента: 18887
Опубликовано: 29.11.2013
Авторы: Соининен Пекка, Яухиайнен Мика
МПК: C30B 25/14, C23C 16/455
Метки: атомного, реактора, послойного, устройство, осаждения
Формула / Реферат:
1. Устройство для реактора послойного атомного осаждения, включающего реакционную камеру, средний элемент, два реверсивных элемента, патрубки для подачи реакционного газа и его отвода и патрубки для подачи барьерного газа, при этом патрубки для подачи и отвода реакционного газа и подачи барьерного газа содержат средний элемент (3), имеющий множество параллельных каналов (4 и 6), проходящих через этот элемент, и первый и второй реверсивные...