Энхолм Робин
Распылительная головка
Номер патента: 22825
Опубликовано: 31.03.2016
Авторы: Энхолм Робин, Соининен Пекка
МПК: C23C 16/455
Метки: распылительная, головка
Формула / Реферат:
1. Распылительная головка (2) для обработки поверхности (4) подложки (6) последовательными поверхностными реакциями по меньшей мере одного первого прекурсора (А) и второго прекурсора (В), причем распылительная головка (2) имеет выходную сторону (5), содержащую один или более первых подающих каналов (40) для подачи на поверхность (4) подложки (6) первого прекурсора (А); один или более вторых подающих каналов (44) для подачи на поверхность (4)...