Парк Йонг Ки

Способ непрерывного получения поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем

Загрузка...

Номер патента: 15219

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Чой Вон Чоон, Йоон Киунг Коо, Парк Йонг Ки, Ким Хее Йоунг

МПК: C30B 25/00, C30B 29/06

Метки: реактора, кремния, получения, псевдоожиженным, поликристаллического, непрерывного, слоем, способ, использованием

Формула / Реферат:

1. Способ получения поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем, в котором средства подачи реакционного газа для обеспечения кремнийсодержащего реакционного газа расположены внутри трубы реактора так, что выпускное отверстие реакционного газа из средства подачи реакционного газа расположено внутри слоя из частиц кремния, при этом верхнее пространство выше выпускного отверстия реакционного газа определяется как...

Способ и установка для получения гранулированного поликремния

Загрузка...

Номер патента: 14621

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Йоон Киунг Коо, Ким Хее Янг, Парк Йонг Ки, Чой Вон Чоон

МПК: C30B 29/06, C30B 25/00

Метки: получения, гранулированного, поликремния, установка, способ

Формула / Реферат:

1. Установка для получения гранулированного поликремния, содержащаяреакторную трубу, внутреннее пространство которой содержит зону нагревания и реакционную зону, расположенную выше зоны нагревания;корпус реактора, окружающий реакторную трубу;устройство подачи псевдоожижающего газа для ввода псевдоожижающего газа в зону нагревания через выпуск псевдоожижающего газа устройства распределения газа, расположенного внизу зоны нагревания;устройство...

Установка и способ изготовления стержней из высокочистого кремния с использованием смешанного сердечникового средства

Загрузка...

Номер патента: 13675

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Чой Вон Чоон, Ким Хее Янг, Парк Йонг Ки, Йоон Киунг Коо, Со Вон Воок

МПК: C30B 25/18, C30B 29/06

Метки: стержней, высокочистого, кремния, установка, использованием, смешанного, изготовления, способ, сердечникового, средства

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного средства сердечника, содержащий:(a) размещение первого средства сердечника, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым средством сердечника, изготовленным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения;(b) электрическое нагревание первого средства сердечника и предварительное нагревание второго средства сердечника...