Ким Хее Йоунг

Способ непрерывного получения поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем

Загрузка...

Номер патента: 15219

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Йоон Киунг Коо, Парк Йонг Ки, Ким Хее Йоунг, Чой Вон Чоон

МПК: C30B 29/06, C30B 25/00

Метки: непрерывного, поликристаллического, слоем, использованием, способ, псевдоожиженным, получения, кремния, реактора

Формула / Реферат:

1. Способ получения поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем, в котором средства подачи реакционного газа для обеспечения кремнийсодержащего реакционного газа расположены внутри трубы реактора так, что выпускное отверстие реакционного газа из средства подачи реакционного газа расположено внутри слоя из частиц кремния, при этом верхнее пространство выше выпускного отверстия реакционного газа определяется как...