Ким Хее Янг
Способ и установка для получения гранулированного поликремния
Номер патента: 14621
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Парк Йонг Ки, Чой Вон Чоон, Йоон Киунг Коо, Ким Хее Янг
МПК: C30B 25/00, C30B 29/06
Метки: установка, получения, способ, поликремния, гранулированного
Формула / Реферат:
1. Установка для получения гранулированного поликремния, содержащаяреакторную трубу, внутреннее пространство которой содержит зону нагревания и реакционную зону, расположенную выше зоны нагревания;корпус реактора, окружающий реакторную трубу;устройство подачи псевдоожижающего газа для ввода псевдоожижающего газа в зону нагревания через выпуск псевдоожижающего газа устройства распределения газа, расположенного внизу зоны нагревания;устройство...
Установка и способ изготовления стержней из высокочистого кремния с использованием смешанного сердечникового средства
Номер патента: 13675
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Чой Вон Чоон, Ким Хее Янг, Со Вон Воок, Парк Йонг Ки, Йоон Киунг Коо
МПК: C30B 25/18, C30B 29/06
Метки: изготовления, смешанного, стержней, использованием, кремния, сердечникового, способ, средства, установка, высокочистого
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного средства сердечника, содержащий:(a) размещение первого средства сердечника, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым средством сердечника, изготовленным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения;(b) электрическое нагревание первого средства сердечника и предварительное нагревание второго средства сердечника...