C30B 25/18 — характеризуемое подложкой
Установка и способ изготовления стержней из высокочистого кремния с использованием смешанного сердечникового средства
Номер патента: 13675
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Йоон Киунг Коо, Парк Йонг Ки, Со Вон Воок, Чой Вон Чоон, Ким Хее Янг
МПК: C30B 29/06, C30B 25/18
Метки: установка, смешанного, изготовления, использованием, кремния, сердечникового, стержней, средства, способ, высокочистого
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного средства сердечника, содержащий:(a) размещение первого средства сердечника, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым средством сердечника, изготовленным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения;(b) электрическое нагревание первого средства сердечника и предварительное нагревание второго средства сердечника...