Патенты с меткой «сердечникового»
Установка и способ изготовления стержней из высокочистого кремния с использованием смешанного сердечникового средства
Номер патента: 13675
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Ким Хее Янг, Йоон Киунг Коо, Парк Йонг Ки, Чой Вон Чоон, Со Вон Воок
МПК: C30B 29/06, C30B 25/18
Метки: использованием, кремния, стержней, сердечникового, установка, средства, смешанного, изготовления, высокочистого, способ
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного средства сердечника, содержащий:(a) размещение первого средства сердечника, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым средством сердечника, изготовленным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения;(b) электрическое нагревание первого средства сердечника и предварительное нагревание второго средства сердечника...