Со Вон Воок
Установка и способ изготовления стержней из высокочистого кремния с использованием смешанного сердечникового средства
Номер патента: 13675
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Йоон Киунг Коо, Со Вон Воок, Чой Вон Чоон, Ким Хее Янг, Парк Йонг Ки
МПК: C30B 29/06, C30B 25/18
Метки: высокочистого, средства, способ, установка, смешанного, стержней, кремния, сердечникового, использованием, изготовления
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного средства сердечника, содержащий:(a) размещение первого средства сердечника, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым средством сердечника, изготовленным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения;(b) электрическое нагревание первого средства сердечника и предварительное нагревание второго средства сердечника...