H01L 21/3065 — плазменное травление; ионное травление
Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации
Номер патента: 8187
Опубликовано: 27.04.2007
Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович
МПК: H01L 21/3065, C23C 14/46, C23C 14/50...
Метки: очистки, варианты, устройство, способ, теневых, дисплеев, реализации, производстве, масок
Формула / Реферат:
1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...